什麼是質量流量控制器(MFC)
在沉積或蝕刻設備中，精確量測氣體的質量流量，並控制在設定值的裝置。
日文名稱: マスフローコントローラ(MFC)
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 前驅物 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)
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日文名稱: マスフローコントローラ(MFC)
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