什麼是砷化氫(AsH3)
砷與氫的化合物氣體。用於導入n型雜質(砷)，以及GaAs等化合物半導體的成長。毒性非常強。
日文名稱: アルシン(AsH3)
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
相關名詞
矽烷(SiH4) 前驅物 特殊材料氣體 超純水 質量流量控制器(MFC) 磷化氫(PH3) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)
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