離子佈植 在離子佈植機的離子源中，用來產生硼離子的代表性氣體為下列何者？ A三氟化硼（BF3） B氬 C氧 查看答案與解析 正確答案：A. 三氟化硼（BF3） 離子源以電弧放電或熱電子將BF3等氣體分解、游離，產生B⁺或BF2⁺等離子，再以電場引出。磷使用磷化氫（PH3），砷使用砷化氫（AsH3），鍺則使用GeF4等。這些全都毒性很強，因此不使用高壓鋼瓶，而是採用將氣體以低壓吸附於吸附材中、不易洩漏的安全氣體容器。目標離子由質量分析部選出。