製程材料（氣體與藥液） 作為p型雜質（硼）導入所用的原料氣體，下列何者正確？ A乙硼烷（B2H6）或三氟化硼（BF3） B磷化氫（PH3） C砷化氫（AsH3） 查看答案與解析 正確答案：A. 乙硼烷（B2H6）或三氟化硼（BF3） 導入硼時使用乙硼烷（B2H6）或三氟化硼（BF3）。BF3用作離子佈植的離子源氣體，除了B⁺之外，也能取出較重且可淺層佈植的BF2⁺。乙硼烷常用於在CVD或磊晶成長時同時將硼摻入薄膜中。磷化氫與砷化氫是n型雜質磷與砷的原料。