PECVD(プラズマCVD)란?
ぴーいーしーぶいでぃー
プラズマで原料ガスを分解して膜を堆積するCVD。熱CVDより低い温度で成膜でき、配線工程の絶縁膜などに使われる。
일본어 명칭: PECVD(プラズマCVD)
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
이 용어가 포함된 비교
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) TEOS
ぴーいーしーぶいでぃー
プラズマで原料ガスを分解して膜を堆積するCVD。熱CVDより低い温度で成膜でき、配線工程の絶縁膜などに使われる。
일본어 명칭: PECVD(プラズマCVD)
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) TEOS