什麼是合成氣體退火

在氫氣與氮氣的混合氣體（合成氣體）中進行的熱處理。氫會鈍化Si/SiO2界面的懸鍵，減少界面能態。

日文名稱: フォーミングガスアニール

這個名詞所屬的領域: 氧化與擴散