可靠度

在汲極附近的高電場下被加速的載子注入閘極絕緣膜,使電晶體特性劣化的現象是下列何者?

  1. ANBTI
  2. B熱載子注入(HCI)
  3. C閂鎖效應
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正確答案:B. 熱載子注入(HCI)

在通道中流動的載子被汲極附近的強電場加速後,會成為具有高能量的熱載子,其中一部分會注入閘極絕緣膜,或產生界面能態。結果使臨界電壓與驅動電流改變。可藉由降低汲極端的雜質濃度以緩和電場的LDD結構,以及降低電源電壓來抑制。NBTI是不需要電流也會發生的劣化,閂鎖效應則是寄生閘流體的導通。

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