氧化與擴散
MOS 結構的氧化層及其介面中的電荷種類，一般的分類組合為何？
- A固定電荷、可動離子電荷、氧化層陷阱電荷、介面陷阱電荷
- B直流電荷、交流電荷、靜電荷
- C電洞電荷、電子電荷、中性電荷
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正確答案：A. 固定電荷、可動離子電荷、氧化層陷阱電荷、介面陷阱電荷
氧化層周圍的電荷分為 4 類：位於緊鄰介面之氧化層中的固定電荷（Qf，正）、鈉等的可動離子電荷（Qm）、被膜中缺陷捕捉的氧化層陷阱電荷（Qot），以及由介面能態造成的介面陷阱電荷（Qit）。這些都會使平帶電壓與臨界電壓偏移，其中 Qit 還會使次臨界特性變差。可藉由 C-V 量測依種類加以評估。
- A. 正確。分為 4 種。
- B. 不使用這樣的分類。
- C. 不使用這樣的分類。