可靠度

當pMOS電晶體持續承受負的閘極電壓與高溫時,臨界電壓的絕對值會逐漸增加,這種劣化現象是下列何者?

  1. ANBTI
  2. B電遷移
  3. CESD
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正確答案:A. NBTI

NBTI(Negative Bias Temperature Instability)是指pMOS承受負的閘極偏壓與高溫,使Si/SiO2界面的Si-H鍵斷裂而增加界面能態,同時絕緣膜中也累積正電荷,導致臨界電壓絕對值變大的劣化。電路的運作速度會以年為單位逐漸變慢,因此設計時要預留劣化量的餘裕。移除應力後有一部分會恢復也是其特徵。

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