界面準位란?

かいめんじゅんい

半導体と絶縁膜の界面に、結合の切れた原子などによってできる禁制帯中のエネルギー準位。キャリアを捕まえたり放したりして、しきい値電圧の変動や移動度の低下、雑音の原因になる。

일본어 명칭: 界面準位

분야: 산화와 확산

관련 용어

可動イオン 酸窒化膜(SiON) 酸化増速拡散(OED) 熱酸化 熱拡散 Deal-Groveモデル LOCOS RTP(急速熱処理) STI(シャロートレンチ分離) ウェット酸化

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