什麼是可動離子
能在閘極氧化膜中移動的鈉、鉀等離子。會隨電場與溫度移動而使臨界電壓變動。由於會從人體汗水等混入，因此受到嚴格管控。
日文名稱: 可動イオン
「可動離子」出現在1領域的3道練習題中（氧化與擴散等）。
這個名詞所屬的領域: 氧化與擴散
練習可動離子的題目
若閘極氧化層中含有鈉離子等可動離子，會發生什麼問題？
- A氧化層發光
- B離子因電場或溫度而移動，使臨界電壓變動
- C氧化層的機械強度提高
查看答案與解析
正確答案：B. 離子因電場或溫度而移動，使臨界電壓變動
鈉等鹼金屬離子在氧化層中容易移動，若因電場或溫度（例如 200 ℃ 左右）而移動到介面附近，便會以正電荷的形式使臨界電壓變動。這是 1960 年代 MOS 元件不穩定的最大原因，連人的汗水與器具都可能帶入。藉由無塵室的汙染管理、氯氧化、以磷矽玻璃（PSG）捕捉等對策，MOS 技術才得以實用化。
解析中的「可動離子」
結果可減少可動離子造成的臨界電壓變動，並提升氧化層的介電崩潰耐壓等可靠度，同時也有減少氧化誘生疊差缺陷的效果。
熱氧化時添加少量氯化氫（HCl）等含氯氣體，其主要目的為何？氧化層周圍的電荷分為 4 類：位於緊鄰介面之氧化層中的固定電荷（Qf，正）、鈉等的可動離子電荷（Qm）、被膜中缺陷捕捉的氧化層陷阱電荷（Qot），以及由介面能態造成的介面陷阱電荷（Qit）。
MOS 結構的氧化層及其介面中的電荷種類，一般的分類組合為何？
出現「可動離子」的題目（3題）
相關名詞
臨界電壓 熱氧化 疊差 平帶電壓 合成氣體退火 界面能態 氧化增強擴散(OED) 乾式氧化 鳥嘴效應 氮氧化矽膜(SiON)