將一價離子以劑量1×10¹⁵ ions/cm²佈植到面積100 cm²的晶圓上。束電流為1 mA時，所需的佈植時間約為多少？（基本電荷 1.6×10⁻¹⁹ C）

正確答案：C. 約16秒

佈植的離子總數為 1×10¹⁵ × 100 = 1×10¹⁷ 個，其電荷為 1×10¹⁷ × 1.6×10⁻¹⁹ = 1.6×10⁻² C。除以電流1 mA = 1×10⁻³ C/s，得16秒。實際的機台中，部分離子束會打到晶圓之外，且還要加上往返掃描的時間，因此會花更久。大電流機台使用數十mA的離子束，是為了在高劑量佈植時提高產能。