接收離子束並量測所流過電流的零件。在離子佈植機中用來求得佈植的離子量(劑量)。
日文名稱: ファラデーカップ
這個名詞所屬的領域: 離子佈植
尖峰退火 佈植劑量 投影射程 固溶度 退火 逆向摻雜井 通道效應(Channeling) 暈環佈植(口袋佈植) 雷射退火 電漿摻雜
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