為了在短時間內佈植大劑量，例如形成源極、汲極，所使用的離子佈植機為下列何者？

正確答案：B. 高電流（high current）佈植機

離子佈植機依所處理的束電流與能量，分為高電流型、中電流型、高能量型。源極、汲極與多晶矽閘極等10¹⁵ ions/cm²前後的高劑量佈植，使用可輸出數mA～數十mA離子束的高電流型，其關鍵在於不使低能量、大電流的離子束擴散而加以傳輸的技術。中電流型用於臨界電壓調整與暈環，高能量型則用於深井區等。