以光阻作為離子佈植的遮罩時，應注意的事項為下列何者？

正確答案：C. 為避免離子穿透光阻，相對於佈植能量必須有足夠的厚度

光阻太薄時，高能量的離子會穿透，連被遮罩的部分也會被佈植。光阻的密度低，離子比在矽中打入更深，因此一般需要離子射程（Rp + 數ΔRp）數倍的厚度，MeV等級的佈植會使用數µm～10 µm左右的厚光阻。高劑量佈植會使光阻表面碳化硬化而難以去除，因此灰化的條件也需注意。