主要用於MOSFET的臨界電壓調整或井區等中等劑量佈植的離子佈植機為下列何者？

正確答案：B. 中電流離子佈植機

離子佈植機依劑量與能量的範圍，分為中電流（臨界電壓調整或暈環佈植等，10¹¹～10¹⁴ cm⁻²）、高電流（源極、汲極等高劑量）、高能量（深井區等）。中電流機台的離子束細且穩定，因此在劑量精度與佈植角度的精密控制（0.1°單位）上表現優異，用於角度偏差會直接影響電晶體特性的佈植。

• A. CMP機台是以研磨進行平坦化的機台。
• B. 正確。用於中等劑量的佈植。
• C. 電子束微影機台是描繪圖案的機台。