什麼是High-k/金屬閘極

高介電常數的閘極絕緣膜與金屬閘極電極的組合。可在抑制閘極漏電的同時確保閘極電容。

日文名稱: High-k/メタルゲート

「High-k/金屬閘極」出現在2領域的2道練習題中(SRAM與快閃記憶體, 新世代記憶體等)。

這個名詞所屬的領域: 先進電晶體(FinFET與GAA)

練習High-k/金屬閘極的題目

為了儲存微控制器的程式,而一直與邏輯電路混載在同一晶片上的非揮發性記憶體是下列何者?

  1. A嵌入式快閃記憶體
  2. BHBM
  3. CGDDR
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正確答案:A. 嵌入式快閃記憶體

微控制器一直將儲存程式與資料的嵌入式快閃記憶體與邏輯電路混載在同一晶片上。斷電後內容仍保留,出貨後也能更新韌體。然而浮動閘極的形成等製程步驟多,在 28 nm 前後之後的世代,以及與 High-k/金屬閘極的混載都很困難,因此正逐漸被可用較少製程步驟製作的 MRAM 與 ReRAM 取代。

MRAM 作為微控制器等的嵌入式非揮發性記憶體而受到矚目,其理由之一,下列何者正確?

  1. A先進邏輯製程中嵌入式快閃記憶體的製造變得困難,而可在後段製程製作的 MRAM 成為替代候選
  2. B比 DRAM 容量大且便宜
  3. C斷電後資料會消失
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正確答案:A. 先進邏輯製程中嵌入式快閃記憶體的製造變得困難,而可在後段製程製作的 MRAM 成為替代候選

嵌入式快閃記憶體因浮動閘極的形成等,需要追加 10 片以上的光罩,在 28 nm 前後之後的世代,以及與 High-k/金屬閘極的組合中,已難以實現。MRAM 可在後段製程中途製作 MTJ,追加的光罩也只要數片,因此台積電與三星等晶圓代工廠在 22 nm 以下提供嵌入式 MRAM。在車用微控制器等的採用持續增加。

解析中的「High-k/金屬閘極」

出現「High-k/金屬閘極」的題目(2題)

  1. 為了儲存微控制器的程式,而一直與邏輯電路混載在同一晶片上的非揮發性記憶體是下列何者?
  2. MRAM 作為微控制器等的嵌入式非揮發性記憶體而受到矚目,其理由之一,下列何者正確?

相關名詞

微控制器 非揮發性記憶體 浮動閘極 MRAM 更新(Refresh) ReRAM(電阻式記憶體) 光罩(Reticle) 磁性穿隧接面(MTJ) 晶圓代工廠 奈米片

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