High-k/メタルゲート란?
はいけーめたるげーと
高誘電率のゲート絶縁膜と金属のゲート電極の組み合わせ。ゲートリークを抑えながらゲート容量を確保できる。
일본어 명칭: High-k/メタルゲート
관련 용어
CFET(相補型FET) DTCO(設計・技術協調最適化) EOT(等価酸化膜厚) FD-SOI(完全空乏型SOI) FinFET GAA(ゲートオールアラウンド) SADP(自己整合ダブルパターニング) ゲートラスト(リプレースメントメタルゲート) ナノシート ランダムドーパントゆらぎ(RDF)