FIB(集束イオンビーム)란?
えふあいびー
細く絞ったイオンビームで試料を削ったり膜をつけたりする装置。微小な領域の断面加工、TEM用の薄い試料の作製、回路の修正などに使われる。
일본어 명칭: FIB(集束イオンビーム)
분야: 계측과 분석
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관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)