從加工成針狀的試片前端，以電場將原子一個一個蒸發，偵測其位置與種類，藉此調查摻雜物等的三維原子分布的分析法是下列何者？

正確答案：A. 原子探針斷層掃描術

原子探針是對以FIB將前端加工成100 nm左右針狀的試片，施加高電壓與脈衝，使前端的原子一個一個以離子形式飛出。由抵達偵測器的位置求出原本的位置，由飛行時間求出質量（元素的種類），重建三維的原子分布。可在原子等級調查電晶體中摻雜物的分布，但偵測效率並非100%。

• A. 正確。使原子一個一個飛出以調查三維分布。
• B. 以光學顯微鏡看不到原子的分布。
• C. 超音波顯微鏡是調查封裝內部分層等的設備。