アッシング란?

あっしんぐ

酸素プラズマなどを使って、エッチングやイオン注入の後に不要になったフォトレジストを灰化して除去する工程。

일본어 명칭: アッシング

분야: 식각

관련 용어

等方性エッチング選択比異方性エッチング終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アスペクト比アンテナ効果

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