佈植離子停止位置之深度的平均值。加速能量越大、離子越輕,則越深。
日文名稱: 投影飛程
這個名詞所屬的領域: 離子佈植
尖峰退火 佈植劑量 固溶度 法拉第杯 退火 逆向摻雜井 通道效應(Channeling) 暈環佈植(口袋佈植) 雷射退火 電漿摻雜
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