アンテナ効果란?

あんてなこうか

プラズマ工程中に、長い配線などの導体がアンテナのように電荷を集め、つながっているゲート酸化膜を損傷させる現象。設計ルールで配線の面積比を制限して防ぐ。

일본어 명칭: アンテナ効果

분야: 식각