LSIの故障箇所を特定するために、動作中の不良箇所から出るわずかな光を検出する解析手法はどれか。

正解：C. エミッション顕微鏡(発光解析)

リーク電流が流れている箇所やトランジスタの異常動作箇所からは、ごく弱い光が出ることがあります。エミッション顕微鏡は、この光を高感度のカメラで検出して、チップ上の故障箇所を特定する手法です。チップの裏面から観察することもあります。