エピタキシャル層の結晶の品質を評価するX線回折のロッキングカーブで、ピークの半値幅が狭いことは何を意味するか。

正解：A. 結晶の傾きやモザイク性、欠陥が少なく、結晶の品質がよいこと

ロッキングカーブは、試料の角度を少しずつ変えながら特定の回折ピークの強さを測ったものです。結晶の向きのばらつき(モザイク性)や転位が多いとピークが広がるため、半値幅が狭いほど結晶の品質がよいことを示します。GaNなどのエピ層の評価に広く使われます。

• A. 正しい。結晶の向きのそろいがよく、欠陥が少ないことを示します。
• B. 不純物濃度の直接の指標ではありません。
• C. 半値幅は膜厚の直接の指標ではありません。