XRD(X線回折)란?
えっくすあーるでぃー
結晶にX線を当て、回折したX線の角度と強さから、結晶構造や格子定数、膜のひずみや結晶の品質を調べる分析法。
일본어 명칭: XRD(X線回折)
분야: 계측과 분석
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)
えっくすあーるでぃー
結晶にX線を当て、回折したX線の角度と強さから、結晶構造や格子定数、膜のひずみや結晶の品質を調べる分析法。
일본어 명칭: XRD(X線回折)
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析)