シリコンウエハ
ウエハ表面の金属汚染を高感度に分析するため、フッ酸の蒸気で表面の酸化膜を溶かし、液滴で回収して分析装置にかける前処理の方法はどれか。
- A四探針法
- BSEM観察
- CVPD(気相分解)法
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正解：C. VPD(気相分解)法
VPD(Vapor Phase Decomposition)法では、フッ酸の蒸気でウエハ表面の自然酸化膜などを分解し、表面の金属不純物を液滴に集めて回収します。回収した液をICP-MSなどで分析することで、ウエハ全面の微量な金属汚染を高感度に測定できます。
- A. 四探針法は抵抗率を測る方法です。
- B. SEM観察は表面の形を見る方法で、微量金属の定量には向きません。
- C. 正しい。表面の汚染を液滴に集めて分析します。