スキャナーとは
すきゃなー
スリット状の光に対してマスクとウエハを同期して動かしながら露光する露光装置。現在の量産の露光装置の主流で、一般にマスクのパターンを1/4に縮小して投影する。
この用語の分野: リソグラフィ
解説の中の「スキャナー」
スキャナーは、幅数mmのスリット状の領域だけに光を当て、マスクとウエハを4:1の速度比で逆向きに同期させて走査しながら1ショット(26×33 mm)を露光します。
スキャナー型露光装置の特徴として正しいものはどれか。一般的なスキャナーでは、ウエハ上で約26 mm × 33 mm(約858 mm²)の領域を1ショットで露光し、ウエハを移動させながら繰り返して全面を露光します。
現在のスキャナー型露光装置で、1回の露光(1ショット)でウエハ上に露光できる最大の領域の大きさとして一般的なものはどれ…
「スキャナー」が出てくる問題(3問)
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