ArFエキシマレーザーとは
えーあーるえふえきしまれーざー
アルゴンとフッ素を使い、波長193 nmの紫外光を出すレーザー。液浸と組み合わせたArF液浸露光は、EUVと並ぶ先端の露光技術。波長248 nmのものはKrFエキシマレーザー。
この用語の分野: リソグラフィ
解説の中の「ArFエキシマレーザー」
ArFエキシマレーザーは、アルゴンとフッ素を含む混合ガスを放電で励起し、波長193 nmの光を出します。
ArFエキシマレーザーの発振に使われるガスの組み合わせとして適切なものはどれか。
「ArFエキシマレーザー」が出てくる問題(1問)
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