スキャナー型露光装置の特徴として正しいものはどれか。

正解：C. スリット状の光に対してマスクとウエハを同期して動かしながら露光する

スキャナーは、細長いスリット状の領域だけに光を当て、マスクとウエハを同期させて走査しながら1ショット分を露光します。レンズの収差の少ない中央部だけを使えるため、大きな露光領域を高い精度で露光できます。1ショットを静止したまま一括で露光する装置はステッパーと呼ばれます。