リソグラフィ
現在のスキャナー型露光装置で、1回の露光(1ショット)でウエハ上に露光できる最大の領域の大きさとして一般的なものはどれか。
- Aウエハ全面(直径300 mm)
- B約1 mm × 1 mm
- C約26 mm × 33 mm
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正解：C. 約26 mm × 33 mm
一般的なスキャナーでは、ウエハ上で約26 mm × 33 mmの領域を1ショットで露光し、ウエハを移動させながら繰り返して全面を露光します。この大きさがチップの最大サイズの目安になり、これを超える大きなチップは複数のショットをつなぐ必要があります。High-NA EUVではこの半分の大きさになります。
- A. ウエハ全面を一度に露光するわけではありません。
- B. 約1 mm角では小さすぎます。
- C. 正しい。約26 mm × 33 mmが一般的です。