スキャナー란?

すきゃなー

スリット状の光に対してマスクとウエハを同期して動かしながら露光する露光装置。現在の量産の露光装置の主流で、一般にマスクのパターンを1/4に縮小して投影する。

일본어 명칭: スキャナー

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