ポジ型フォトレジストとは
ぽじがたふぉとれじすと
露光した部分が現像で溶けて除去されるフォトレジスト。逆に、露光した部分が残るものをネガ型という。
この用語の分野: リソグラフィ
ぽじがたふぉとれじすと
露光した部分が現像で溶けて除去されるフォトレジスト。逆に、露光した部分が残るものをネガ型という。
この用語の分野: リソグラフィ
TMAH EUV露光 位相シフトマスク ArFエキシマレーザー 液浸露光 オーバーレイ(重ね合わせ精度) OPC(光学近接効果補正) 開口数(NA) 化学増幅型レジスト 焦点深度(DOF)