ポジ型フォトレジストとは

ぽじがたふぉとれじすと

露光した部分が現像で溶けて除去されるフォトレジスト。逆に、露光した部分が残るものをネガ型という。

この用語の分野: リソグラフィ

「ポジ型フォトレジスト」が出てくる問題(1問)

  1. ポジ型フォトレジストの説明として正しいものはどれか。

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