ポジ型フォトレジスト란?
ぽじがたふぉとれじすと
露光した部分が現像で溶けて除去されるフォトレジスト。逆に、露光した部分が残るものをネガ型という。
일본어 명칭: ポジ型フォトレジスト
분야: 포토리소그래피
ぽじがたふぉとれじすと
露光した部分が現像で溶けて除去されるフォトレジスト。逆に、露光した部分が残るものをネガ型という。
일본어 명칭: ポジ型フォトレジスト
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開口数(NA) 反射防止膜(BARC) 液浸露光 位相シフトマスク 焦点深度(DOF) 化学増幅型レジスト ArFエキシマレーザー EUV露光 High-NA EUV OPC(光学近接効果補正)