リソグラフィ ArF液浸露光の説明として正しいものはどれか。 Aウエハ全体を水に沈めて現像する Bレジストを水で薄めて塗布する C投影レンズとウエハの間を水で満たし、開口数(NA)を大きくする 答えと解説を見る 正解：C. 投影レンズとウエハの間を水で満たし、開口数(NA)を大きくする 液浸露光では、投影レンズとウエハの間を空気(屈折率約1)より屈折率の高い水(約1.44)で満たします。これにより開口数を1より大きくでき、同じ193 nmの波長でもより細かいパターンを解像できます。