解像度の式 R = k1 × λ / NA の係数k1についての説明として正しいものはどれか。

正解：A. プロセスの難しさを表す係数で、1回の露光での理論的な下限は0.25である

k1はレジストやマスク、照明条件などの工夫の度合いを表す係数で、小さいほど細かいパターンを解像しているが、プロセスは難しくなります。1回の露光で周期パターンを解像する場合の理論的な下限は0.25です。超解像技術によって、量産でも0.3程度まで下げられてきました。