リソグラフィ 露光装置の開口数(NA)を大きくすると、焦点深度(DOF)は一般にどうなるか。 A深くなる B浅くなる C変化しない 答えと解説を見る 正解：B. 浅くなる 焦点深度は DOF = k2 × λ / NA² で表され、NAを大きくすると急に浅くなります。解像度を上げるためにNAを大きくすると、ピントが合う範囲が狭くなり、ウエハの平坦性や段差がより厳しく求められます。CMPによる平坦化が重要な理由の一つです。