開口数(NA)が非常に大きい液浸露光で、光の偏光を考慮する必要が出てくる理由として正しいものはどれか。

正解：C. 光が大きな角度で入射するため、偏光の向きによって干渉の強さ(像のコントラスト)が変わるため

NAが大きいと、ウエハに入射する光の角度が大きくなります。すると、電場の向きが干渉する光どうしでそろうかどうかが偏光の向きで変わり、像のコントラストに差が出ます。そのため、パターンに合わせて偏光を制御した照明が使われます。

• A. 偏光で波長は変わりません。
• B. 偏光でレジストの厚さは変わりません。
• C. 正しい。大きな入射角では偏光で像のコントラストが変わります。