解像度の式 R = k1 × λ / NA にもとづき、解像度を向上させる(Rを小さくする)方法として正しいものはどれか。

正解：A. 露光波長を短くし、開口数(NA)を大きくする

R = k1 × λ / NA なので、Rを小さくするには波長λを短く、開口数NAを大きくします。露光光源はg線(436 nm)、i線(365 nm)、KrF(248 nm)、ArF(193 nm)、EUV(13.5 nm)と短波長化してきました。ArF液浸露光では、レンズとウエハの間を水で満たしてNAを1以上にしています。