Luchtstroomprincipe in een cleanroom waarbij schone lucht over het hele plafond in één richting naar de vloer stroomt. Voert gegenereerde deeltjes snel af naar onder de vloer.
Japanse benaming: ダウンフロー
“Downflow” komt voor in 6 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur, Etsen.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: B. Doordat vrijwel geen ionenbombardement optreedt, is de schade gering en kan isotroop worden geëtst
Bij het downflow-type (remote plasma) wordt de plaats waar het plasma wordt opgewekt gescheiden van de wafer, en onderweg recombineren ionen en elektronen en gaan verloren, zodat alleen neutrale radicalen met een lange levensduur de wafer bereiken. Er vallen geen ionen in en het ultraviolette licht van het plasma wordt tegengehouden, dus de schade is gering en isotroop etsen is mogelijk. Het wordt gebruikt voor het verwijderen van resist, het verwijderen van films in schadegevoelige processen en het verwijderen van SiGe tussen nanosheets.
Antwoord: A. Gegenereerde deeltjes snel naar onder de vloer afvoeren, zodat ze niet rond de wafers blijven hangen
Als schone lucht die door hoogwaardige filters in het plafond is geleid in één richting naar de vloer stroomt, worden deeltjes van mensen en apparatuur niet opgewerveld maar naar onder de vloer gevoerd. Zo blijven deeltjes niet rond de wafers hangen. Hiermee wordt een hogere reinheid bereikt dan met een methode die de lucht in de ruimte mengt en verdunt, maar omdat grote hoeveelheden lucht worden verplaatst, is het energieverbruik van de luchtbehandeling groot. Het doel is niet het regelen van temperatuur of geluid.
Bij het downflow-type (remote plasma) wordt de plaats waar het plasma wordt opgewekt gescheiden van de wafer, en onderweg recombineren ionen en elektronen en gaan verloren, zodat alleen neutrale radicalen met een lange levensduur de wafer bereiken.
Welke uitspraak over de kenmerken van etsen van het downflo…Bij downflow wordt de uit de plafondfilters geblazen lucht door de vloer met gaten naar de ruimte onder de vloer gezogen, loopt via bijvoorbeeld zijgangen en keert weer naar het plafond terug, zodat de lucht circuleert.
Welke reden om in een cleanroom met downflow vloerpanelen m…In een cleanroom met downflow stroomt vanuit het plafond een langzame luchtstroom van circa 0,3 tot 0,5 m/s in één richting.
Wat is de gebruikelijke richtwaarde voor de luchtsnelheid u…Bij downflow wordt over het hele plafond met circa 0,4 m/s lucht geblazen, wat neerkomt op circa 1440 m per uur, zodat in een ruimte met een plafondhoogte van 3 tot 4 m de lucht per uur enkele honderden keren wordt ververst.
Welke waarde benadert het aantal malen per uur dat de lucht…Een waffle slab is een dikke betonnen vloer, versterkt met roosterbalken, met veel gaten, die als doorgang voor de lucht van de downflow naar onder de vloer dient.
Welke uitspraak over de rol van de dikke betonnen vloer met…Plasma Isotroop etsen SiGe (silicium-germanium) Via EFEM FFU (fan filter unit) FOUP HEPA-filter ISO 14644-1 Mini-environment