Was ist OHT (Deckentransportsystem)?

Fahrzeuge, die entlang von Deckenschienen laufen und FOUPs automatisch zwischen Anlagen transportieren. Sie bilden das Rückgrat des automatisierten Transports in 300-mm-Fabs.

Japanische Bezeichnung: OHT(天井走行式無人搬送車)

Fachgebiet: Reinräume und Anlagen

Verwandte Begriffe

EFEM (Equipment Front End Module) FFU (Ventilator-Filter-Einheit) FOUP HEPA-Filter ISO 14644-1 Mini-Environment (Minienvironment) Molekulare Kontamination in der Luft (AMC) ULPA-Filter Vertikalströmung (downflow)

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