Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welke combinatie van benamingen voor het transport tussen bays en het transport tussen apparatuur binnen een bay in het geautomatiseerde transport van een fabriek met bays is juist?

  1. AFront-endtransport en back-endtransport
  2. BInterbay-transport en intrabay-transport
  3. CNat transport en droog transport
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Interbay-transport en intrabay-transport

Bij de bay-methode werden interbay-transport, dat verafgelegen bays via bijvoorbeeld stockers verbindt, en intrabay-transport, dat binnen een bay apparatuur onderling of met de stocker verbindt, gecombineerd. Omdat bij elke overstap wachttijd ontstaat, wordt in recente 300 mm-fabrieken ook veel een methode gebruikt waarbij de OHT beide in één geheel verzorgt en rechtstreeks van apparaat naar apparaat vervoert. Dit staat los van de indeling in front-end en back-end.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke cleanroommethode plaatst productieapparatuur in een grote ruimte met weinig scheidingswanden en waarborgt de reinheid van wafers met afgesloten containers zoals FOUP's en minienvironments?
  2. Welke waarde benadert het aantal malen per uur dat de lucht in een cleanroom met downflow en hoge reinheid wordt ververst (luchtverversingsvoud) het best?
  3. Wat is de belangrijkste reden dat in cleanrooms voor vloeren en werkbanken geleidende materialen (die statische lading afvoeren) worden gebruikt?
  4. Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-filter is juist?
  5. Waarom worden in belichtingsgebieden die chemisch versterkte resist gebruiken basische moleculaire verontreinigingen zoals ammoniak en aminen bijzonder streng beheerst?