Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welk apparaat, waarin filter en ventilator zijn gecombineerd, wordt in rijen in het plafond geplaatst om schone lucht uit te blazen?

  1. AFFU (fan filter unit)
  2. BEFEM
  3. COHT
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. FFU (fan filter unit)

Een FFU is een eenheid waarin een ventilator en een HEPA/ULPA-filter zijn geïntegreerd; veel van deze eenheden worden in het plafond van een cleanroom geplaatst en blazen schone lucht omlaag. Omdat de luchthoeveelheid per eenheid kan worden geregeld en wijzigingen van de indeling of van de reinheid van een deel gemakkelijk kunnen worden opgevangen, worden ze veel gebruikt in plaats van methoden waarbij lucht via grote kanalen wordt aangevoerd. Een EFEM is de module aan de voorzijde van de apparatuur en een OHT is een transportvoertuig aan het plafond.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welke reden om de luchtvochtigheid van een cleanroom niet extreem laag te laten worden is juist?
  2. Welke zaken mogen alleen onder strenge beperkingen in de cleanroom worden meegenomen?
  3. Welke uitspraak over de gangbare indeling van apparatuur in een halfgeleiderfabriek is juist?
  4. Wat is het belangrijkste doel van het spoelen (purgen) van het binnenste van een FOUP met stikstof?
  5. Welke minienvironment-methode, gangbaar in het tijdperk van 200 mm-wafers, plaatst de cassette in een afgesloten pod die aan de apparatuur wordt overgedragen?