Deel dat de source, drain en gate van een transistor met de onderste bedradingslaag verbindt. Wordt gemaakt door in de isolatielaag geëtste contactgaten met onder meer wolfraam te vullen.
Japanse benaming: コンタクト
“Contact” komt voor in 26 oefenvragen uit 14 onderwerpen, bijv. Testen en inspectie, Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA), MEMS en sensoren.
Vakgebied: Interconnectprocessen
Antwoord: C. Zelfuitgelijnd contact (SAC)
Als de boven- en zijkant van de gate met bijvoorbeeld een nitridefilm zijn bedekt, stopt het etsen van het contact, ook als het naar de positie van de gate verschuift, op de isolatiefilm omdat nitride moeilijker wordt geëtst dan oxide, en bereikt het de gate niet. Door dit zelfuitgelijnde contact is de marge voor uitlijnfouten niet meer nodig en kan de afstand tussen gate en contact kleiner worden. Het heeft geleid tot technieken om de celoppervlakte te verkleinen, zoals COAG, waarbij het contact direct boven de gate wordt geplaatst.
Antwoord: C. Schakelen met geringe insertieverlies en weinig signaalvervorming is mogelijk
Een RF MEMS-schakelaar opent en sluit een metaalcontact door een kleine beweegbare elektrode met elektrostatische kracht te verplaatsen; de weerstand in de aan-stand is laag, de capaciteit in de uit-stand is slechts enkele fF, het insertieverlies is met ongeveer 0,1 tot 0,5 dB laag en er is nauwelijks vervorming door niet-lineariteit zoals bij halfgeleiderschakelaars. Aan de andere kant duurt schakelen enkele µs tot enkele tientallen µs, en levensduur en betrouwbaarheid door contactslijtage en plakken, evenals de aandrijfspanning van enkele tientallen V, zijn knelpunten.
Als de boven- en zijkant van de gate met bijvoorbeeld een nitridefilm zijn bedekt, stopt het etsen van het contact, ook als het naar de positie van de gate verschuift, op de isolatiefilm omdat nitride moeilijker wordt geëtst dan oxide, en bereikt het de gate niet.
Welke techniek bedekt de gate met een isolatiefilm, zodat g…Bij immersiebelichting komt het water tussen lens en wafer in contact met de resist, waardoor fotozuurgeneratoren e.d.
Welke laag wordt bij ArF-immersiebelichting boven op de fot…De naaldpunt schuift hierbij iets over het pad en doorbreekt de oxidelaag van het aluminium aan het oppervlak, waardoor een stabiel contact ontstaat.
Hoe heet het verder indrukken van de probenaald nadat deze …Bij de wafertest worden de vele naalden van de probe card in contact gebracht met elektrodepads, die bijvoorbeeld langs de rand van elke chip zijn geplaatst; de tester legt voeding en signalen aan en meet de respons.
Op welke plek op de chip worden de naalden van de probe car…Een pogo-pin is een dunne contactpen met een veer in een huls; wanneer deze tegen een pen van de IC of een elektrode van de printplaat wordt gedrukt, maakt hij met een passende kracht betrouwbaar contact en vangt hij ook hoogteverschillen van de aansluitingen op.
Welk onderdeel van de testopspanning tussen tester en IC, d…Via Numerieke apertuur (NA) MEMS CVD Slurry CMP Fotoresist Antireflectiecoating (BARC) Pellicle Probe card