OHT(天井走行式無人搬送車)란?

おーえいちてぃー

天井のレールに沿って走り、FOUPを製造装置の間で自動搬送する装置。300 mmウエハの工場の自動搬送の主役。

일본어 명칭: OHT(天井走行式無人搬送車)

OHT(天井走行式無人搬送車)은(는) 클린룸과 장비 등 1개 분야의 연습 문제 6개에 나와요.

분야: 클린룸과 장비

도전해 보기: OHT(天井走行式無人搬送車) 관련 문제

300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?

  1. A사람이 하는 대차 반송
  2. B벨트 컨베이어만을 이용한 반송
  3. COHT(천장 주행식 무인 반송차)
정답과 해설 보기

정답: C. OHT(천장 주행식 무인 반송차)

300 mm 웨이퍼 25장을 담은 FOUP은 약 8 kg으로 무거워 사람이 운반하면 부담이 크고, 발진이나 낙하 위험도 있습니다. OHT는 천장 레일을 달리는 반송차로, FOUP을 매달아 장비의 로드 포트까지 자동으로 운반하며 바닥 공간을 작업이나 장비에 활용할 수 있습니다. 공장 전체의 자동 반송 시스템(AMHS)의 중심 설비로, 큰 공장에서는 수백 대 이상이 달리고 있습니다.

제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?

  1. AOHT
  2. BULPA 필터
  3. CEFEM(로드 포트와 반송 로봇을 포함한 장비 전면 모듈)
정답과 해설 보기

정답: C. EFEM(로드 포트와 반송 로봇을 포함한 장비 전면 모듈)

EFEM(Equipment Front End Module)은 FOUP을 놓는 로드 포트, 뚜껑을 여는 기구, 웨이퍼를 꺼내 장비 안으로 운반하는 로봇 등을 FFU로 청정하게 유지되는 공간에 수납한 모듈입니다. 웨이퍼를 외기에 노출하지 않고 장비와 FOUP 사이에서 주고받을 수 있어 미니인바이런먼트의 핵심이 됩니다. OHT는 장비 간 반송, ULPA 필터는 공기 청정화를 담당합니다.

해설 속 OHT(天井走行式無人搬送車)

OHT(天井走行式無人搬送車)이(가) 나오는 문제 (6)

  1. 300 mm 웨이퍼 공장에서 FOUP을 천장 레일을 따라 장비 사이로 자동 반송하는 시스템은 무엇인가?
  2. 제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?
  3. 천장에 필터와 팬을 일체화하여 늘어놓고 청정 공기를 내보내는 장치는 무엇인가?
  4. 반도체 공장의 자동 반송 시스템에서 다음 공정으로 넘어가기 전의 FOUP을 일시적으로 보관하는 자동 창고는 무엇인가?
  5. 베이 방식 공장의 자동 반송에서, 베이와 베이 사이의 반송과 베이 안에서 장비 간을 잇는 반송의 명칭 조합으로 올바른 것은 무엇인가?
  6. 칸막이가 적은 큰 방 안에 제조 장비를 늘어놓고, FOUP 등의 밀폐 용기와 미니인바이런먼트로 웨이퍼의 청정도를 확보하는 클린룸 방식은 무엇인가?

관련 용어

FOUP EFEM FFU(ファンフィルタユニット) 分子状汚染(AMC) HEPAフィルタ ISO 14644-1 ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント

용어집으로 돌아가기