Hoogwaardig luchtfilter dat ten minste 99,97% van de deeltjes met een grootte van 0,3 µm opvangt. Een filter dat nog kleinere deeltjes opvangt is het ULPA-filter.
Japanse benaming: HEPAフィルタ
“HEPA-filter” komt voor in 1 oefenvragen uit 1 onderwerpen, bijv. Cleanroom en productieapparatuur.
Vakgebied: Cleanroom en productieapparatuur
Antwoord: A. Het vangt 99,97% of meer van de deeltjes van 0,3 µm op
Een HEPA-filter wordt gedefinieerd als een filter met een opvangrendement van 99,97% of meer voor deeltjes van circa 0,3 µm, dicht bij de deeltjesgrootte die het moeilijkst te filteren is (JIS enz.). Grotere deeltjes worden door traagheid en kleinere door diffusie ten gevolge van Brownse beweging gemakkelijk door de vezels opgevangen, zodat de deeltjes van gemiddelde grootte het gemakkelijkst doorlaten. Het nog hoogwaardiger ULPA-filter zou 99,9995% of meer bij 0,15 µm halen. Geen van beide verwijdert gassen.
Een HEPA-filter wordt gedefinieerd als een filter met een opvangrendement van 99,97% of meer voor deeltjes van circa 0,3 µm, dicht bij de deeltjesgrootte die het moeilijkst te filteren is (JIS enz.).
Welke algemene definitie van de prestaties van een HEPA-fil…ULPA-filter Downflow EFEM FFU (fan filter unit) FOUP ISO 14644-1 Mini-environment Moleculaire verontreiniging (AMC) OHT (overhead hoist transport)