EFEM란?

いーふぇむ

Equipment Front End Module の略。製造装置の前面で、FOUPのふたを開け、ウエハを清浄な環境のまま装置内に搬送するユニット。ロードポートや搬送ロボットを含む。

일본어 명칭: EFEM

EFEM은(는) 클린룸과 장비 등 1개 분야의 연습 문제 4개에 나와요.

분야: 클린룸과 장비

도전해 보기: EFEM 관련 문제

제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?

  1. AOHT
  2. BULPA 필터
  3. CEFEM(로드 포트와 반송 로봇을 포함한 장비 전면 모듈)
정답과 해설 보기

정답: C. EFEM(로드 포트와 반송 로봇을 포함한 장비 전면 모듈)

EFEM(Equipment Front End Module)은 FOUP을 놓는 로드 포트, 뚜껑을 여는 기구, 웨이퍼를 꺼내 장비 안으로 운반하는 로봇 등을 FFU로 청정하게 유지되는 공간에 수납한 모듈입니다. 웨이퍼를 외기에 노출하지 않고 장비와 FOUP 사이에서 주고받을 수 있어 미니인바이런먼트의 핵심이 됩니다. OHT는 장비 간 반송, ULPA 필터는 공기 청정화를 담당합니다.

천장에 필터와 팬을 일체화하여 늘어놓고 청정 공기를 내보내는 장치는 무엇인가?

  1. AFFU(팬 필터 유닛)
  2. BEFEM
  3. COHT
정답과 해설 보기

정답: A. FFU(팬 필터 유닛)

FFU는 송풍 팬과 HEPA/ULPA 필터를 일체화한 유닛으로, 클린룸 천장에 다수 배치하여 청정 공기를 아래 방향으로 내보냅니다. 유닛별로 풍량을 조정할 수 있고 레이아웃 변경이나 부분적인 청정도 변경에도 대응하기 쉬워, 큰 덕트로 공기를 보내는 방식을 대신하여 널리 사용되고 있습니다. EFEM은 장비 전면 모듈, OHT는 천장 반송차입니다.

해설 속 EFEM

EFEM이(가) 나오는 문제 (4)

  1. 제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?
  2. 천장에 필터와 팬을 일체화하여 늘어놓고 청정 공기를 내보내는 장치는 무엇인가?
  3. 200 mm 웨이퍼 시대에 보급된, 카세트를 밀폐된 포드에 넣어 장비에 전달하는 미니인바이런먼트 방식은 무엇인가?
  4. 진공을 사용하는 공정 장비에서 반응으로 생성된 유해 물질을 포함한 배기 가스를 장비별로 처리하는 장치는 무엇인가?

관련 용어

FFU(ファンフィルタユニット) FOUP OHT(天井走行式無人搬送車) 分子状汚染(AMC) HEPAフィルタ ISO 14644-1 ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント

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