제조 장비 전면에서 FOUP의 뚜껑을 열고 웨이퍼를 청정한 환경 그대로 장비 안으로 반송하는 유닛은 무엇인가?

정답: C. EFEM(로드 포트와 반송 로봇을 포함한 장비 전면 모듈)

EFEM(Equipment Front End Module)은 FOUP을 놓는 로드 포트, 뚜껑을 여는 기구, 웨이퍼를 꺼내 장비 안으로 운반하는 로봇 등을 FFU로 청정하게 유지되는 공간에 수납한 모듈입니다. 웨이퍼를 외기에 노출하지 않고 장비와 FOUP 사이에서 주고받을 수 있어 미니인바이런먼트의 핵심이 됩니다. OHT는 장비 간 반송, ULPA 필터는 공기 청정화를 담당합니다.