클린룸과 장비

FOUP에 대한 설명으로 올바른 것은 무엇인가?

  1. A노광 장비의 광원
  2. B웨이퍼를 연마하는 장비
  3. C300 mm 웨이퍼를 밀폐한 상태로 운반·보관하는 용기
정답과 해설 보기

정답: C. 300 mm 웨이퍼를 밀폐한 상태로 운반·보관하는 용기

FOUP(Front Opening Unified Pod)은 300 mm 웨이퍼를 최대 25장까지 밀폐하여 운반·보관하는 전면 개방식 용기로, 웨이퍼를 넣으면 약 8 kg이 됩니다. 웨이퍼를 FOUP 안과 장비 안에서만 청정하게 유지하면 공장 전체를 초청정으로 만들지 않아도 오염을 막을 수 있습니다. 치수와 개폐 방식이 규격으로 통일되어 있어 어느 제조사의 장비에도 그대로 올려놓을 수 있으며, 천장 반송 등으로 자동 운반됩니다.

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