HEPAフィルタ란?
へぱふぃるた
粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する高性能の空気フィルタ。さらに細かい粒子まで捕集するものがULPAフィルタ。
일본어 명칭: HEPAフィルタ
분야: 클린룸과 장비
관련 용어
分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント
へぱふぃるた
粒径0.3 µmの粒子を99.97%以上捕集する高性能の空気フィルタ。さらに細かい粒子まで捕集するものがULPAフィルタ。
일본어 명칭: HEPAフィルタ
분야: 클린룸과 장비
分子状汚染(AMC) EFEM FFU(ファンフィルタユニット) FOUP ISO 14644-1 OHT(天井走行式無人搬送車) ULPAフィルタ ダウンフロー ミニエンバイロメント